發生局部放電時電力設備內場強分布不均勻，造成正負電荷不斷堆積而后又中和，期間伴隨發出納秒級別的電流脈沖，根據麥克斯韋方程，短而快的變化電流會產生電磁波，局部放電的電磁波頻率在300MHz到3GHz間屬于特高頻范圍。特高頻法是通過傳感器采集電磁波信號，經過一定的信號處理得到局部放電的特征量。

　　在發生局部放電時，產生的特高頻電磁波分量會從各部分入射GIS內部，并開展各種形式的同軸壁面間跳躍和反射。特高頻電磁波在GIS內部傳導，其中包含橫電波、橫磁波和橫電磁波三種波。橫向電磁波在GIS中傳播沒有截止頻率，但易衰減，在高于100MHz 的頻率后，信號衰減特別快，橫電波和橫磁波有下限截止頻率。電磁波截止頻率與GIS的尺寸呈負相關性，GIS截面面積越大，下限截止頻率越低，橫向電波和橫向磁波信號只要高于下限截止頻率基本上能無損的在GIS中傳播。

　　GIS金屬腔體對電磁波信號有很好的屏蔽作用，因此局部放電產生的特高頻電磁波在GIS中傳播衰減小，但特高頻信號易從非金屬的盆式絕緣子溢出造成信號衰減。若忽略盆式絕緣子處的衰減，1GHz的信號在GIS腔中直線傳播每千米僅衰減3到5dB，靈敏度高;UHF信號頻率高可以避開大部分的低頻干擾，抗機械振動能力強;變電站現場最多的干擾是高壓線在空氣中的電暈干擾，而特高頻抗電暈干擾能力強;特高頻信號會在GIS中反射引起諧振，使得電磁波信號震蕩時間加長，更有利于檢測;能對局部放電點進行精準定位;此外特高頻法可以每隔數米放置一個傳感器，相比于超聲波檢測其需要的傳感器要少的多;當絕緣材料的間隙較小時，發生放電時間短，產生的電流脈沖斜率大，電磁波的頻率更高，在絕緣缺陷初期也能被檢測到;最重要的是其能夠精確定量分析放電信息;不同的缺陷放電產生的電磁波特征量不同，根據這些差異可以很容易區分缺陷類型，因而UHF法廣泛應用于GIS絕緣缺陷在線監測，此外特高頻法在電纜、變壓器上應用檢測精度也很高。